1. 系統(tǒng)
| 貨號 | 型號 | 主機規(guī)格 | |
| X1軸測量范圍 | Z1軸測量范圍 | ||
| 218-633DC | CV-2100M4 | 100 mm | 50 mm | 
1-1. 系統(tǒng)圖
	  
 
2. 主機規(guī)格
| 測量范圍 | X1軸 | 100 mm | |
| 
 | Z1軸 | 50 mm | |
| 垂直移動 | 
 | 350 mm 快速上下動和微動 | |
| X1軸傾角范圍 | 
 | 
 | ±45° 手動 | 
| 類型 | X1軸 | 
 | STVC-10Z | 
| 
 | Z1軸 | 
 | RT檢出器 | 
| 分辨力 | X1軸 | 
 | 0.1 μm | 
| 
 | Z1軸 | 
 | 0.1 μm | 
| 驅(qū)動方式 | X1軸 | 
 | 自動(0~20 mm/s) | 
| 垂直移動 | 
 | 手動(快速上下移動,微動進給) | |
| 測量速度 | 
 | 
 | 0.02~5 mm/s | 
| 直線度(以X1軸為水平方向上) | 
 | 2.5μm/100 mm | |
| 指示精度 | X1軸 | 
 | ±(2.5+0.02L)μmL為驅(qū)動長度(mm) | 
| (20℃) | Z1軸 | 
 | ±(2.5+|0.1H|)μm H:基于水平位置的測量高度(mm) | 
| 測針上/下運作 | 弧形移動 | ||
| 測量方向 | 
 | 
 | 向前/向后 | 
| 測針方向 | 
 | 
 | 向下 | 
| 測力 | 
 | 
 | 30±10 mN | 
| 跟蹤角度 | 向上 | 
 | 77°(依表面粗糙度而定) | 
| 
 | 向下 | 
 | 87°(依表面粗糙度而定) *使用配置的標準測針 | 
| 測針針尖 | 尖端半徑 | 
 | 25μm | 
| (標準測針) | 材料 | 
 | 硬質(zhì)合金 | 
| 基座尺寸 | 
 | 
 | 600×450 mm | 
| 基座材料 | 
 | 
 | 花崗巖 | 
| 
					 | 主機 | 
 | 651×143×138.5 mm | 
| 
 | 立柱部 | 885×745×450 mm | |
| 重量 | 主機 | 
 | 5.8 kg | 
| 
 | 立柱部 | 140 kg | |
| 使用溫度范圍 | 
 | 
 | 0~40 ℃ | 
| 使用濕度范圍 | 
 | 
 | 20~80 %RT 但是不能結(jié)露 | 
| 保存溫度范圍 | 
 | 
 | -10~50 ℃ | 
| 保存濕度范圍 | 
 | 
 | 5~90 %RT 但是不能結(jié)露 | 
| 電源 | 
 | 
 | AC 100~120V、200~240 V±10%、AC50/60 Hz | 
| 消耗功率 | 
 | 
 | 30 W | 
	
3. 附件
3-1. 主機標準附屬品
| 貨號 | 品名 | 備注 | 數(shù)量 | 
| 354884 | 單切片測針 SPH-71 | 
 | 1 | 
| 935113 | 直式測臂 AB-71 | 
 | 1 | 
| 12BAM435 | 輔助重量A | 
 | 1 | 
| 12BAM415 | 輔助重量B | 
 | 1 | 
| 12BAM427 | 輔助重量C | 
 | 1 | 
| 546-113 | 張力計 | 
 | 1 | 
| 538613 | 六角扳手 公稱值1.5 | 
 | 1 | 
| 538616 | 六角扳手 公稱值3 | 
 | 1 | 
| 538618 | 六角扳手 公稱值5 | 
 | 1 | 
| 357651 | AC適配器 | 
 | 1 | 
| 02ZAA040 | AC Cord-CCC | 
 | 1 | 
| 12BAF812 | 鏈接電纜(USB) | 
 | 1 | 
| 537976 | 吊掛螺栓 | 
 | 4 | 
| 535002 | 蓋子 | 
 | 4 | 
| 611671-041 | 量塊 10 mm 等級2 | 
 | 1 | 
| 611675-041 | 量塊 50 mm 等級2 | 
 | 1 | 
| 99MBB499A | 用戶手冊(硬件指南、英語) | 
 | 1 | 
| - | 保證書(大) | 
 | 1 | 
3-2. 數(shù)據(jù)處理部
| 貨號 | 品名 | 備注 | 數(shù)量 | 
| —— | FORMTRACEPAK | 
 | 1 | 
| SH-PA-99999 | 電腦 | 
 | 1 | 
| SH-PA-99999 | 打印機 | 
 | 1 | 
3-3. 選件
| 貨號 | 品名 | 備注 | 數(shù)量 | 
| 998862 | Pin gauge | 測針補正 | 1 | 
| 211-016 | 基準半球 | 校正對稱性 | 1 | 

