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淺談光柵式測微儀

發(fā)布時間：2022-06-06

瀏覽次數(shù)：345

光柵式測微儀也稱光柵測微儀、光柵長度計或光電測長儀，是以光柵副作為測量元件，將線位移量轉(zhuǎn)換為光電信號，經(jīng)電路處理并以數(shù)字顯示位移量的一種長度精密測量儀器（摘自JJF 1682-2017）。

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光柵式測微儀是一種接觸式精密傳感器，現(xiàn)在小編以半導(dǎo)體制造工程、汽車制造工程為例，“圖說”光柵式測微儀的測量應(yīng)用和測量原理。



應(yīng)用之

半導(dǎo)體制造工程

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半導(dǎo)體制造工程示意圖

點(diǎn)擊查看大圖


01


輥縫檢測


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02


基板厚度的檢測


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03


芯片平行度的檢測


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04


FPD基板的多點(diǎn)檢測


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05


測量壓接端子的鉚合高度


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06


復(fù)印機(jī)部品的平行度檢測


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應(yīng)用之

汽車制造工程

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汽車生產(chǎn)線示意圖/點(diǎn)擊查看大圖



01


汽車凸輪軸的位移量測量


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